| 国家/地区 | 韩国(3) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 | C(4) H(2) |
| IPC大类 |
C23(4)
C01(3)
H01(2)
|
| IPC小类 |
C23C(4)
C01B(3)
H01L(2)
|
| IPC |
C23C016/44(4)
C01B031/02(3)
C23C016/26(3)
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| 发明人 |
JEON S(4)
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| 公开年 |
2012(4)
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| 申请年 | 2012(2) |
| 专利权人 | KOREA ADV IN.(2) KOREA ADVANC.(2) SK INNOVATIO.(2) |
JEON S, LEE J, OH S, RAN O S, SEOP L J, U JEON S, JIN S L, SE R O, SEOK W J
JIN J, JEON S, LEE Y, HONG Y
