国家/地区 韩国(3) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(4) H(2)
IPC大类 C23(4) C01(3) H01(2)
IPC小类 C23C(4) C01B(3) H01L(2)
IPC C23C016/44(4) C01B031/02(3) C23C016/26(3)
发明人 JEON S(4)
公开年 2012(4)
申请年 2012(2) 
专利权人 KOREA ADV IN.(2) KOREA ADVANC.(2) SK INNOVATIO.(2)