国家/地区 中国(9)
IPC部 H(5) C(3)
IPC大类 H01(5) C23(3) C30(2)
IPC小类 C23C(3) H01L(3) C30B(2)
IPC C23C016/26(2) C23C016/458(2) C30B025/12(2)
C30B029/02(2) H01L031/0224(2)
发明人 JIN H(9)
公开年 2012(8)
申请年 2011(9)
专利权人 PENG P(4) JIN H(3) CHANGZHOU ER.(2)