国家/地区 中国(10)
IPC部 C(5) H(4)
IPC大类 H01(4) C23(3) C01(2)
C30(2)
IPC小类 C23C(3) H01L(3) C01B(2)
C30B(2)
IPC C01B031/04(2) C23C016/26(2) C23C016/458(2)
C30B025/12(2) C30B029/02(2) H01L031/0224(2)
发明人 JIN H(10)
公开年 2012(10)
申请年 2011(8)  2012(2) 
专利权人 PENG P(4) CHANGZHOU ER.(2) JIN H(2) UNIV SHANGHA.(2)