国家/地区 韩国(4)
IPC部 H(4) C(3) B(2)
IPC大类 H01(3) C01(2)
IPC小类 C01B(2) H01L(2)
IPC C01B031/04(2) H01L051/00(2)
发明人 KIM W(4)
公开年 2013(2)
申请年 2012(2) 
专利权人

RUOTSALAINEN T, MATTILA T, SANDBERG H, KIM W, ARPIAINEN S, MCCAFFREY C, LUOCHALAINENTEMU, HENRIK S, KIM W J, ARPIAINENSANNA, MCCAFRICOLM, JIN W, MARTTILA T

HUH H, KIM W S, KIM H J, YOO E S, CHOI S H, HWANG J Y, JANG J Y, KIM T I, HEO H, HYEONG P N, SIK K U, JIN K H, SEONG Y E, HUN C S, YEONG H J, YEONG J J, IL K T, PARK N H, JIN T, ZHANG Z, CHOE S, HWANG J, KIM H, KIM W, YOO E