| 国家/地区 | 韩国(4) |
| IPC部 |
B(2)
C(2)
H(2)
|
| IPC大类 |
B01(2)
C01(2)
C23(2)
H01(2) |
| IPC小类 |
B01J(2)
C01B(2)
C23C(2)
H01L(2) |
| IPC |
B01J019/08(2)
C01B031/02(2)
C23C016/26(2)
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| 发明人 |
LEE K J(4)
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| 公开年 |
2013(4)
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| 申请年 | 2011(3) |
| 专利权人 | KOREA ADV IN.(2) KOREA ADVANC.(2) |
SUH E K, LEE K J, SEO T H
