国家/地区 中国(5)
IPC部 C(4) B(3) H(2)
IPC大类 B82(3) C23(2) H01(2)
IPC小类 B82Y(3) C23C(2) H01J(2)
IPC B82Y030/00(2) C23C016/30(2) H01J001/304(2)
发明人 LI K(5)
公开年 2016(3) 2021(2)
申请年 2016(3) 
专利权人 UNIV QINGDAO SCI TECHNOLOGY(5)