国家/地区 中国(5)
IPC部 G(2) H(2)
IPC大类 G01(2) H01(2)
IPC小类 H01L(2)
IPC H01L031/032(2) H01L031/18(2)
发明人 TAN X(5)
公开年 2018(5)
申请年 2017(3)  2018(2) 
专利权人 UNIV CHINA T.(2)