| 国家/地区 | 日本(3) |
| IPC部 | C(3) H(2) |
| IPC大类 | C01(3) H01(2) |
| IPC小类 | C01B(3) H01L(2) |
| IPC | H01L051/05(2) |
| 发明人 |
YAMADA Y(3)
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| 公开年 | 2020(2) |
| 申请年 |
2019(3)
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| 专利权人 | FUJITSU LTD(2) UNIV NARA(2) |
YAMAGUCHI J, HAYASHI H, YAMADA Y
