国家/地区 日本(3)
IPC部 C(3) H(2)
IPC大类 C01(3) H01(2)
IPC小类 C01B(3) H01L(2)
IPC H01L051/05(2)
发明人 YAMADA Y(3)
公开年 2020(2)
申请年 2019(3)
专利权人 FUJITSU LTD(2) UNIV NARA(2)