国家/地区 日本(2)
IPC部 C(2) H(2)
IPC大类 C01(2) H01(2)
IPC小类 C01B(2) H01L(2)
IPC H01L051/05(2)
发明人 YAMADA Y(2)
公开年 2020(2)
申请年 2019(2) 
专利权人 FUJITSU LTD(2) UNIV NARA(2)