国家/地区 日本(3)
IPC部 C(3) H(3) B(2)
IPC大类 C01(3) H01(3) B82(2)
C08(2) C23(2)
IPC小类 C01B(3) H01L(3) B82Y(2)
C08G(2) C23C(2)
IPC C01B032/184(3) B82Y030/00(2) B82Y040/00(2)
H01L029/06(2) H01L029/16(2) H01L029/786(2)
H01L051/05(2) H01L051/30(2)
发明人 YAMAGUCHI J(3)
公开年
申请年 2019(3)
专利权人 FUJITSU LTD(3)