| 国家/地区 | 日本(3) |
| IPC部 |
C(3)
H(3)
B(2)
|
| IPC大类 |
C01(3)
H01(3)
B82(2)
C08(2) C23(2) |
| IPC小类 |
C01B(3)
H01L(3)
B82Y(2)
C08G(2) C23C(2) |
| IPC |
C01B032/184(3)
B82Y030/00(2)
B82Y040/00(2)
H01L029/06(2) H01L029/16(2) H01L029/786(2) H01L051/05(2) H01L051/30(2) |
| 发明人 |
YAMAGUCHI J(3)
|
| 公开年 | |
| 申请年 |
2019(3)
|
| 专利权人 | FUJITSU LTD(3) |
YAMAGUCHI J, HAYASHI H, YAMADA Y
