国家/地区 韩国(3) 美国(2)
IPC部 B(3) C(2) H(2)
IPC大类 B01(2) C01(2) H01(2)
IPC小类 C01B(2) H01L(2)
IPC C01B031/02(2) H01L029/16(2)
发明人 YOON S M(3)
公开年 2014(3)
申请年 2013(3) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(3)