国家/地区 |
中国(3)![]() |
IPC部 |
B(3)![]() |
IPC大类 |
C01(3)![]() |
IPC小类 |
C01B(3)![]() |
IPC | C23C026/00(2) |
发明人 |
ZHANG L(3)![]() |
公开年 | |
申请年 | |
专利权人 |
LIU J, NING J, ZHANG L, CHEN C, PAN D
LIN X, WEI H, LIU P, ZHANG L, JIANG K, FAN S