| 国家/地区 | 美国(3) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 |
B(3)
|
| IPC大类 |
B32(3)
|
| IPC小类 |
B32B(3)
B82Y(3)
C23C(3)
C01B(2) H01L(2) |
| IPC |
B32B009/04(3)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2013(2) |
| 申请年 |
2013(3)
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| 专利权人 |
OEZYILMAZ B, KAHYA O, OZYILMAZ B
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H
