| 国家/地区 |
中国(3)
|
| IPC部 |
B(3)
C(3)
H(2)
|
| IPC大类 |
C01(3)
|
| IPC小类 |
C01B(3)
C04B(3)
B82Y(2)
C23C(2) C30B(2) H01L(2) |
| IPC |
C01B021/064(3)
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| 发明人 | |
| 公开年 | |
| 申请年 | |
| 专利权人 |
ZHAO Z, LUO K, SUN L, LIU B, HU W, HE J, YU D, TIAN Y, XU B, LIU Z, ZHAO Z S, HU W T, HE J L, YU D L, TIAN Y J, LIU Z Y
DING G, JIANG M, TANG S, XIE X
