国家/地区 日本(2)
IPC部 B(2)
IPC大类 C01(2) H01(2)
IPC小类 C01B(2)
IPC C01B031/02(2)
发明人 NAGATA T(2)
公开年
申请年 2012(2) 
专利权人 SEMICONDUCTO.(2)

TEPEY O, TAKESHI O, TOSHIHIKO T, KUNIHARU N, OGUNI T, NAGATA T, TAKEUCHI T, NOMOTO K, OSADA T