国家/地区 世界知识产权组织(3)
IPC部 C(3)
IPC大类 C01(3) H01(3)
IPC小类 C01B(3)
IPC C01G053/00(3)
发明人 YAMAZAKI S(3) KURIKI K(2) OCHIAI T(2)
公开年 2022(2)
申请年 2021(2) 
专利权人 SEMICONDUCTOR ENERGY LAB(3)