国家/地区 世界知识产权组织(8)
IPC部 C(8)
IPC大类 C01(8)
IPC小类 C01B(8)
IPC C01G053/00(8)
发明人 YAMAZAKI S(3) KURIKI K(2) OCHIAI T(2)
公开年 2021(3) 2022(3)
申请年 2021(4)  2020(2) 
专利权人 SEMICONDUCTO.(3)