国家/地区 中国(4) 欧洲专利局(EPO)(4) 美国(4) 世界知识产权组织(4) 韩国(3) 印度(2)
IPC部 B(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C01B(6) C04B(6) B01J(3)
B82Y(3) B82B(2) C03C(2)
C23C(2) H01L(2)
IPC C04B041/00(6)
发明人 LEE J O(2)
公开年 2015(2) 2018(2)
申请年 2013(2) 
专利权人 KOREA RES IN.(2)