| 国家/地区 | 台湾(2) |
| IPC部 | C(3) G(3) |
| IPC大类 |
C23(3)
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| IPC小类 |
C23C(3)
C01B(2)
G06F(2)
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| IPC |
C23C014/06(3)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2022(3) |
| 申请年 |
2021(3)
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| 专利权人 |
NAOYA N, KAZUNORI T, NOSAKA N, TAKANASHI K
