国家/地区 台湾(2)
IPC部 C(3) G(3)
IPC大类 C23(3)
IPC小类 C23C(3) C01B(2) G06F(2)
IPC C23C014/06(3)
发明人
公开年 2022(3)
申请年 2021(3)
专利权人