国家/地区 | |
IPC部 |
C(3)![]() |
IPC大类 |
C23(3)![]() |
IPC小类 |
C23C(3)
C01B(2)
H01L(2)
|
IPC |
C23C014/12(3)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2022(2) |
申请年 |
2020(3)![]() |
专利权人 |