国家/地区 美国(2)
IPC部 C(2)
IPC大类 C23(2)
IPC小类 C23C(2) H01L(2)
IPC C23C014/12(2)
发明人
公开年 2022(2)
申请年 2022(2)
专利权人

WATABE T, SEO H, UEDA L, KAWANO Y, TOMOHIRO K A, KITANO Y, DOS T, OHSAWA N, SEO S, TOSU T, KUBODA T, UEDA A, KONO Y, KUBOTA T, TORISU T, OSAWA N