国家/地区 |
美国(3)![]() |
IPC部 |
C(3)![]() |
IPC大类 |
C23(3)![]() |
IPC小类 |
C23C(3)
H01L(3)
C01B(2)
|
IPC |
C23C014/12(3)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2022(2) |
申请年 | 2022(2) |
专利权人 |
ZERGIOTI I, PAPAZOGLOU S, ZACHARATOS F, LOGOTHETI A, PESQUERA A, ZURUTUZA A, NAVEH D
WATABE T, SEO H, UEDA L, KAWANO Y, TOMOHIRO K A, KITANO Y, DOS T, OHSAWA N, SEO S, TOSU T, KUBODA T, UEDA A, KONO Y, KUBOTA T, TORISU T, OSAWA N