国家/地区 美国（2） 世界知识产权组织（2）
IPC部 B（2） C（2） H（2）
IPC大类 B82（2） C01（2） C23（2）
H01（2）
IPC小类 B82Y（2）
IPC B82Y040/00（2）
发明人
公开年 2012（2）
申请年 2011（2）
专利权人

Method of directly synthesizing uniform multilayer graphene of semiconductor device, involves passing reaction gas into reaction chamber, after temperature in reaction chamber reaches specific level.

ZHONG Z, LEE S, LEE K

Manufacture of graphene used for forming graphene sheet, involves supplying carbon source-containing gas to metal catalyst layer for graphene growth, and forming graphene by inductively coupled plasma-chemical vapor deposition.

AHN J, BAE S K, HONG B H, JANG H, JUNG M H, KIM S J, LEE Y, YOO J B, AHN J H, LIU Z, BAE S, HONG B, LI R, JUNG M, KIM S