国家/地区 | 韩国(3) |
IPC部 |
C(3)![]() |
IPC大类 | C23(3) H01(2) |
IPC小类 | C23C(3) H01L(2) |
IPC |
C23C016/26(3)![]() |
发明人 | CHO K W(2) |
公开年 | 2020(2) |
申请年 |
2019(3)![]() |
专利权人 |
POSTECH ACADIND FOUND(3)![]() |
HWANG C C, CHUNG D S, OH D