国家/地区 韩国(3)
IPC部 C(3)
IPC大类 C23(3) H01(2)
IPC小类 C23C(3) H01L(2)
IPC C23C016/26(3)
发明人 CHO K W(2)
公开年 2020(2)
申请年 2019(3)
专利权人 POSTECH ACADIND FOUND(3)