| 国家/地区 | 中国(2) |
| IPC部 |
C(2)
|
| IPC大类 |
C04(2)
|
| IPC小类 |
C04B(2)
|
| IPC |
C23C016/26(2)
|
| 发明人 |
ZHANG F(2)
|
| 公开年 | |
| 申请年 | |
| 专利权人 |
YANG Y, ZHANG F, XIA L, LI F
