| 国家/地区 | 美国(2) |
| IPC部 |
B(2)
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| IPC大类 |
B32(2)
|
| IPC小类 |
B32B(2)
B44C(2)
B82Y(2)
C01B(2) C23C(2) H01L(2) |
| IPC |
B44C001/22(2)
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| 发明人 | |
| 公开年 |
2012(2)
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| 申请年 | |
| 专利权人 |
WOO Y, CHOI J, CHOI W, SHIN H, YOON S, WOO Y S, CHOI J Y, CHOI W M, SHIN H J, YOON S M
