国家/地区 |
韩国(4)![]() |
IPC部 |
B(4)![]() |
IPC大类 |
C23(4)
B32(3)
B82(3)
C01(3) H01(3) B05(2) C30(2) |
IPC小类 |
C23C(4)
B32B(3)
C01B(3)
B05D(2) B82B(2) B82Y(2) C30B(2) H01L(2) |
IPC |
C23C016/26(4)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2011(2) |
申请年 |
2009(4)![]() |
专利权人 |
VEERASAMY V S, VEERASAMY V
KIM S J, PARK J E, JIN K S, EUN P J
AHN J, LEE J, LEE S, LEE W, LEE U, LEE J K, LEE S H, AHN J P, LEE S C, LEE W S
SUEMITSU M, KONNO A, MIYAMOTO Y, MAKI S, ASSEUSI G, YU M