国家/地区 韩国(4)
IPC部 B(4)
IPC大类 C23(4) B32(3) B82(3)
C01(3) H01(3) B05(2)
C30(2)
IPC小类 C23C(4) B32B(3) C01B(3)
B05D(2) B82B(2) B82Y(2)
C30B(2) H01L(2)
IPC C23C016/26(4)
发明人
公开年 2011(2)
申请年 2009(4)
专利权人