国家/地区 中国（3）
IPC部 C（3）
IPC大类 C23（3）
IPC小类 C23C（3）
IPC C23C016/26（3）
发明人 DU C（3）
公开年 2015（2）
申请年 2015（3）
专利权人 CHINESE ACAD.（3） CHONGQING MO.（2）

Three-dimensional non-catalytic substrate-loading graphene film structure used for e.g. microelectromechanical system device comprises non-catalytic substrate, etched surface body three-dimensional structure and graphene thin film cover.

DU C, SHEN J, SHI H, YANG J, WEI D, YU C, SONG X, YU Y

Graphene growing device used for producing graphene thin film comprises cavity body, upper annular mounting grooves, and high temperature-resistant carbon-carbon material cylinder.

DU C, LI Z, SHI H, ZHONG D, YU B

Graphene growing chamber used for graphene thin film comprises cavity body, annular mounting groove and carbon-carbon refractory material cylinder.

DU C, LI Z, SHI H, ZHONG D, YU B