国家/地区 | 美国(3) 中国(2) 韩国(2) |
IPC部 |
B(3)![]() |
IPC大类 |
B01(3)![]() |
IPC小类 |
B01J(3)![]() |
IPC |
C23C016/26(3)![]() |
发明人 | |
公开年 | |
申请年 | |
专利权人 |
HAM M, SON M, HAM M H, SON M W, XIAN W, SUN M