| 国家/地区 | 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 |
B(2)
C(2)
H(2)
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| IPC大类 |
B32(2)
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| IPC小类 |
B32B(2)
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| IPC |
C23C016/32(2)
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| 发明人 | |
| 公开年 | |
| 申请年 | |
| 专利权人 |
NAOYA N, KAZUNORI T, NOSAKA N, TAKANASHI K
