国家/地区 韩国(3) 美国(2)
IPC部 C(3)
IPC大类 C01(3)
IPC小类 C01B(3)
IPC C23C016/44(3)
发明人 CHOI J Y(3)
公开年 2011(2)
申请年 2010(2) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(3) UNIV SUNGKYU.(2)