国家/地区 韩国(3)
IPC部 C(3)
IPC大类 C23(3) C01(2) H01(2)
IPC小类 C23C(3) C01B(2) H01L(2)
IPC C23C016/44(3)
发明人 JEON S(3) JIN J(2)
公开年 2012(3)
申请年
专利权人 SK INNOVATIO.(2)