国家/地区 中国（2）
IPC部 C（2）
IPC大类 C01（2） C23（2） H05（2）
IPC小类 C01B（2）
IPC C23C016/48（2）
发明人
公开年
申请年 2022（2）
专利权人

Graphene carbide/silicon carbide composite material used in electromagnetic shielding device, comprises multiple graphene of silicon carbide crystal grains uniformly distributed to form thin film.

LI Z, ZHANG L, TU R, XU Q, ZHANG S

Plasma enhanced chemical vapor deposition method used in semiconductor structure, comprises turning on radio frequency source of radio frequency system to decompose aromatic hydrocarbon precursor into multiple active radicals at specific frequency to form graphene layer on magnetic layer.

WU Z, NI I, XU Y, HUANG J, WU C, HSU Y, HUANG J Z, HSU Y H