国家/地区 | 中国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 美国(2) |
IPC部 |
B(3)![]() |
IPC大类 |
B82(3)![]() |
IPC小类 |
B82Y(3)![]() |
IPC |
C23C024/08(3)![]() |
发明人 | WANG J(2) |
公开年 | |
申请年 | |
专利权人 |
DONG J, HE H, LI K, WANG H, ZENG X
HEMOND J H B, LOYD A N, MARTENS R I, WANG J, LLOYD A N, HERMOND J H B
ADLER U, RODE D, BURESCH I, WANG J, FRECKMANN D, SCHMIDT H, ROHDE D, WANG Y