| 国家/地区 | 欧洲专利局(EPO)(2) 韩国(2) 美国(2) |
| IPC部 |
B(2)
|
| IPC大类 |
B82(2)
|
| IPC小类 |
B82Y(2)
C01B(2)
C23C(2)
H01L(2) |
| IPC |
B82Y030/00(2)
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| 发明人 | |
| 公开年 | |
| 申请年 | |
| 专利权人 |
ZURUTUZA E A, CENTENO P A, ALONSO R B, PESQUERA R A, ALONSO RODRIGUEZ B, CENTENO PEREZ A, ZURUTUZA ELORZA A, PESQUERA RODRIGUEZ A, AMAIA Z E, ALBA C P, BEATRIZ A R, AMAIA P R
