国家/地区 美国(4)
IPC部 B(4)
IPC大类 B32(4)
IPC小类 B32B(4) C23C(4) C01B(3)
C23F(2) C30B(2) H01B(2)
H01L(2)
IPC C23C028/00(4)
发明人
公开年
申请年
专利权人