国家/地区 美国(4)
IPC部 C(4)
IPC大类 G06(4) B32(3) C01(3)
H01(3) B29(2) B82(2)
C23(2) H05(2)
IPC小类 G06F(4) B32B(3) C01B(3)
B82Y(2) C23C(2) H01B(2)
H01L(2)
IPC G06F003/044(4)
发明人
公开年 2012(2)
申请年 2012(2) 
专利权人