国家/地区
IPC部 B(4)
IPC大类 B05(4)
IPC小类 B05D(4) C23C(4) C01B(2)
C03C(2) H01L(2)
IPC C23C016/26(4)
发明人
公开年 2020(2)
申请年 2019(4)
专利权人