| 国家/地区 |
德国(3)
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| IPC部 |
B(3)
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| IPC大类 |
B32(3)
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| IPC小类 |
B32B(3)
B82Y(3)
C01B(3)
C23C(3) H01L(2) |
| IPC |
B32B009/04(3)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2013(2) |
| 申请年 | |
| 专利权人 | INT BUSINESS.(3) |
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H
BOL A A, CHANDRA B, KASRY A, MAAROUF A, MARTYNA G J, TULEVSKI G S
