国家/地区 | 美国(3) 韩国(2) |
IPC部 |
B(3)![]() |
IPC大类 |
B32(3)![]() |
IPC小类 |
B32B(3)![]() |
IPC | C23C016/26(2) |
发明人 |
CHOI J(3)![]() |
公开年 | 2011(3) |
申请年 |
2011(3)![]() |
专利权人 | SAMSUNG ELEC.(2) UNIV SUNGKYU.(2) |
SHIN H, CHOI J, LEE Y, HAN G, CHOI J Y, HAN G H, LEE Y H, SHIN H J
BAE S K, CHOI J, HONG B H, KANG J, KIM H K, KIM Y J, BUNG C J, GANG B S, GEUN K H, HUI H B, JIN K Y, MO G J, BAE S, KIM H