国家/地区 世界知识产权组织(6)
IPC部 B(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C01B(6)
IPC B82Y040/00(3) C01B032/194(3) H01L029/16(3)
B82Y030/00(2) C01B032/186(2) H01L029/66(2)
发明人
公开年 2022(3) 2023(3)
申请年 2022(6)
专利权人