国家/地区 中国(4)
IPC部 C(4)
IPC大类 C23(4)
IPC小类 C23C(4) H01L(2)
IPC C23C016/26(4)
发明人 ZHANG D(4)
公开年 2016(3)
申请年 2016(4)
专利权人 LIAONING ADV.(2) SHENYANG INS.(2)