| 国家/地区 | 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 |
B(4)
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| IPC大类 |
B32(4)
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| IPC小类 |
B32B(4)
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| IPC |
C23C016/26(4)
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| 发明人 | |
| 公开年 |
2020(4)
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| 申请年 | 2020(2) |
| 专利权人 |
ZHANG X, LUAN Y, YANG W, CHEN Q, LI Y, LI M, SUN B, GONG M
SINGH R, PATWARY S, BANERJEE P C
GALIOTIS C, BAGLIONI P, ANAGNOSTOPOULOS G, PASTORE CARBONE M G, POGGI G, PAPADIMITRIOU K, PATERAKIS G, KOTSIDI M, GORGOLIS G
