| 国家/地区 |
德国(4)
|
| IPC部 |
B(4)
|
| IPC大类 |
B32(4)
|
| IPC小类 |
B32B(4)
|
| IPC |
C23C016/26(4)
|
| 发明人 | |
| 公开年 | 2013(4) |
| 申请年 | 2013(3) |
| 专利权人 | INT BUSINESS.(2) |
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H
VLASSIOUK I V, SMIRNOV S N, PETER W H, SABAU A S, DAI S, FULVIO P F, IVANOV I N, LAVRIK N V, DATSKOS P G
BOL A A, CHANDRA B, KASRY A, MAAROUF A, MARTYNA G J, TULEVSKI G S
