国家/地区 美国(3)
IPC部 C(3)
IPC大类 C23(3) H01(3) B82(2)
C01(2)
IPC小类 C23C(3)
IPC C23C016/26(3)
发明人
公开年 2011(2)
申请年 2010(3)
专利权人