国家/地区 美国(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 D01(7) H01(7) C01(5)
C09(3) C23(2)
IPC小类 D01F(7)
IPC D01F009/12(7)
发明人 YANAGISAWA T(3) CHO K(2) CHO Y(2)
HIGAI S(2) HIGAKI G C C(2) HIGAKI S(2)
HIGAKI S G C C(2) KIM H(2) PARK S(2)
SHIN M(2) YANAGISAWA G C C(2) YANAGISAWA T G C C(2)
YEO C(2)
公开年 2003(2)
申请年 2002(3) 
专利权人 GSI CREOS CO.(3) AICT(2) PURITECH CO .(2)