国家/地区 韩国(2)
IPC部 C(2)
IPC大类 C23(2)
IPC小类 C23C(2) H01L(2)
IPC C23C016/26(2)
发明人 CHO K W(2)
公开年 2020(2)
申请年 2019(2) 
专利权人 CENT ADVANCED SOFT ELECTRONICS(2)