国家/地区 | 美国(3) 世界知识产权组织(3) 中国(2) 日本(2) 韩国(2) 台湾(2) |
IPC部 |
B(3)![]() |
IPC大类 |
B32(3)![]() |
IPC小类 |
B32B(3)![]() |
IPC |
C23C016/26(3)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2011(3)![]() |
申请年 | 2010(2) |
专利权人 |
MCFEELY F R, YURKAS J J, OIDA S, HANNON J B
KIM S O, LEE W J, LEE D H, HAN T H, KIM J E, LEE J A, LEE K J