国家/地区 |
日本(2)![]() |
IPC部 |
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IPC大类 |
B32(2)![]() |
IPC小类 |
B32B(2)![]() |
IPC |
C23C016/26(2)![]() |
发明人 | |
公开年 | |
申请年 | |
专利权人 |
KIM D J, HONG B H, WOO Y S, KIM D, YU Y S
CHIBA YOSHIHIRO, CHIBA Y, CHIBA G, YOSHIHIRO C