国家/地区 世界知识产权组织(10)
IPC部 C(10)
IPC大类 C01(10)
IPC小类 C01B(10)
IPC C01G053/00(10)
发明人 YAMAZAKI S(3) KURIKI K(2) OCHIAI T(2)
公开年 2021(3) 2022(3)
申请年 2021(4)  2019(2)  2020(2) 
专利权人 SEMICONDUCTO.(3)